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VAT閥門615系列61536-PHGG-0001/0004

  • 品牌:VAT
  • 型號:61536-PHGG-0001/0004

產品介紹

壓力控制

該控制器可確??焖?,準確的壓力控制。操作LEARN功能只需啟動一次,系統參數是自動確定的。由于自適應算法的控制器連續適應于加工過程條件(氣體、氣體流量),從而確保在任何時候都有壓力控制。

位置控制

在位置控制模式下,閥板可以移動到任何位置。

顯示

狀態和位置是4位的數字顯示。

遙控操作

所述閥可以由主機計算機通過RS232、RS422、RS485、Logic、DeviceNet、以太網、現場總線、CC鏈路或EtherCAT的接口進行控制。 RS232接口與現場總線也有數字輸入以關閉和打開所述閥。此外,數字輸出可用于開放和關閉(閥的狀態)??刂仆ㄟ^邏輯控制接口,通過數字以及模擬輸入和輸出進行。

應用

半導體,FPD和工業過程,特別是化學氣相沉積系統。

規格參數

內徑(ID):63mm(2 1/2")

法蘭:ISO-F(符合ISO1609)

閥體材質:鋁合金硬質氧化

執行器:RS232接口/1個傳感器

壓力:最大1.2bar(絕對壓力)

密封技術:回轉饋通(雙密封)

密封材料FKM(VITON)

分子流導:LS-1 220

關閉或打開時間:0.6s

閥體溫度:最高120℃

執行器溫度:最高50℃

重量:3.8kg

產品應用


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